总投资5亿元！半导体机器人研发生产基地项目在沈阳开工建设 日前，中科芯微半导体机器人研发生产基地项目在中德（沈阳）高端装备制造产业园开工建设。该项目将聚焦半导体专业设备领域的国产替代研发，填补相关领域空白，未来 2025-05-03 07:04:00