日前,中科芯微半导体机器人研发生产基地项目在中德(沈阳)高端装备制造产业园开工建设。该项目将聚焦半导体专业设备领域的国产替代研发,填补相关领域空白,未来打造成为国内领先的集研发、生产、销售于一体的半导体机器人研发生产基地。
该项目计划总投资5亿元,占地面积6.9万平方米,规划建筑面积约8.3万平方米,将建设数字化智能制造生产厂房、半导体核心设备实验室、研发综合楼等设施。项目竣工投产后,可实现年产半导体机器人1000台套,预计新增产值10亿元,实现税收5000万元,新增就业500余人。
项目方中科芯微智能装备(沈阳)有限公司(以下简称中科芯微)是由素珀电子科技(上海)有限公司(以下简称素珀电子)投资创立的高新技术企业,主要专注于半导体制造核心装备的自主研发与产业化。作为一家潜在独角兽企业,素珀电子于2020年6月落子沈阳,在沈阳经开区设立研发生产基地——中科芯微,逐步构建起覆盖芯片制造前道工艺全制程的设备体系。
五年来,中科芯微年均推出5-10项创新产品,累计完成十余项重大科技攻关,成功开发出20余种高精度半导体洁净机器人系列产品,突破相关技术壁垒,在精密传动系统、真空环境兼容性、纳米级定位精度等“卡脖子”领域取得重大进展。
“希望新的研发生产基地建成后,能够依托本地产业链、供应链的带动,吸引更多上下游企业加入,共同形成产业链聚集发展的良好态势。”素珀电子董事长朱玉东说。
今年以来,铁西区依托汉京、贺利氏等龙头企业,持续推动关键核心技术攻关,提升先进新材料产业发展能级,推动新材料产业集群高质量发展。一季度,铁西区新材料产业集群实现规上产值75.9亿元,同比增长9.7%,约占全市48.6%。
(沈阳日报、沈报全媒体记者叶青)
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