总投资5亿元！半导体机器人研发生产基地项目在沈阳开工建设

2025-05-03 07:04:000

日前，中科芯微半导体机器人研发生产基地项目在中德（沈阳）高端装备制造产业园开工建设。该项目将聚焦半导体专业设备领域的国产替代研发，填补相关领域空白，未来打造成为国内领先的集研发、生产、销售于一体的半导体机器人研发生产基地。

该项目计划总投资5亿元，占地面积6.9万平方米，规划建筑面积约8.3万平方米，将建设数字化智能制造生产厂房、半导体核心设备实验室、研发综合楼等设施。项目竣工投产后，可实现年产半导体机器人1000台套，预计新增产值10亿元，实现税收5000万元，新增就业500余人。

项目方中科芯微智能装备（沈阳）有限公司（以下简称中科芯微）是由素珀电子科技（上海）有限公司（以下简称素珀电子）投资创立的高新技术企业，主要专注于半导体制造核心装备的自主研发与产业化。作为一家潜在独角兽企业，素珀电子于2020年6月落子沈阳，在沈阳经开区设立研发生产基地——中科芯微，逐步构建起覆盖芯片制造前道工艺全制程的设备体系。

五年来，中科芯微年均推出5－10项创新产品，累计完成十余项重大科技攻关，成功开发出20余种高精度半导体洁净机器人系列产品，突破相关技术壁垒，在精密传动系统、真空环境兼容性、纳米级定位精度等“卡脖子”领域取得重大进展。

“希望新的研发生产基地建成后，能够依托本地产业链、供应链的带动，吸引更多上下游企业加入，共同形成产业链聚集发展的良好态势。”素珀电子董事长朱玉东说。

今年以来，铁西区依托汉京、贺利氏等龙头企业，持续推动关键核心技术攻关，提升先进新材料产业发展能级，推动新材料产业集群高质量发展。一季度，铁西区新材料产业集群实现规上产值75.9亿元，同比增长9.7%，约占全市48.6%。

（沈阳日报、沈报全媒体记者叶青）